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光柵傳感器的特點和磁性光柵傳感器的測量范圍

發(fā)布時間:2023-05-11 17:48:47人氣:

  由大量具有相等寬度和相等間距的平行狹縫組成的光學(xué)器件稱為光柵。常用的光柵是通過在玻璃板上雕刻大量平行刻痕而制成的。刻痕是不透明的部分,并且兩個刻痕之間的光滑部分可以透射光,這相當于狹縫。精制的光柵在1厘米寬的范圍內(nèi)具有成千上萬個缺口。

光柵傳感器.png

  這種使用透射光進行衍射的光柵稱為透射光柵。也有光柵使用在兩個凹口之間衍射的反射光。例如,在鍍有金屬層的表面上刻有許多平行的凹口,并且在兩個凹口之間存在光滑的金屬。表面可以反射光,并且該光柵成為反射光柵。


  光柵傳感器的特點:


 ?。?)精度高。在大范圍內(nèi)測量長度或線性位移方面,光柵傳感器僅次于激光干涉?zhèn)鞲衅?。在圓分度和角位移的連續(xù)測量中,光柵傳感器是最精確的。


 ?。?)高分辨率的大范圍測量。感應(yīng)同步磁傳感器和磁性光柵傳感器也具有測量范圍大的特點,但分辨率和精度均不如光柵傳感器。


 ?。?)可以實現(xiàn)動態(tài)測量,并且易于實現(xiàn)測量和數(shù)據(jù)處理的自動化。


 ?。?)具有很強的抗干擾能力。對環(huán)境條件的要求不像激光干涉?zhèn)鞲衅髂敲磭栏?,但是卻不如感應(yīng)同步和磁柵傳感器那樣適應(yīng)。油和灰塵會影響其可靠性。主要適用于環(huán)境較好的實驗室和車間。

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