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微型壓力傳感器原理及運(yùn)用

發(fā)布時(shí)間:2023-05-11 18:00:56人氣:

  壓力傳感器是一種用于測(cè)量生活壓力的設(shè)備。該設(shè)備通常由壓敏元件和信號(hào)處理單元組成,可以根據(jù)一定的規(guī)則傳輸壓力信號(hào),根據(jù)測(cè)量條件的不同,可以分為多種類型的壓力傳感器,其中微型壓力傳感器被廣泛使用,由于其體積小,可以進(jìn)入很多地方,所以您知道微型壓力傳感器的原理是什么?在哪里使用?讓我們來看看!

微型壓力傳感器.jpg

  微型壓力傳感器的原理:


  當(dāng)前的微型壓力傳感器包括硅壓阻式壓力傳感器和硅電容式壓力傳感器,兩者均基于硅片上微機(jī)械電子傳感器。


  硅壓阻式壓力傳感器采用高精度半導(dǎo)體電阻應(yīng)變計(jì)構(gòu)成電橋作為力電轉(zhuǎn)換測(cè)量電路,具有測(cè)量精度高,功耗低,成本極低的特點(diǎn)。電橋的壓阻傳感器,如果沒有壓力變化,其輸出為零,幾乎沒有功耗。


  微硅壓阻式壓力傳感器采用固定在外圍的圓形應(yīng)力杯硅膜的內(nèi)壁,并采用微技術(shù)直接在最大表面應(yīng)力上刻制四個(gè)高精度半導(dǎo)體應(yīng)變儀,以形成一個(gè)惠斯通電橋測(cè)量電橋作為力-電轉(zhuǎn)換測(cè)量電路,直接將壓力的物理量轉(zhuǎn)換為電,其測(cè)量精度可達(dá)到0.01-0.03%FS。


  電容式壓力傳感器使用微技術(shù)在硅芯片上形成水平屏障。上下水平柵欄成為一組電容式壓力傳感器。上部橫向勢(shì)壘在壓力下向下移動(dòng)并發(fā)生變化。上部和下部水平柵格之間的距離也改變了板之間的電容,可就是壓力等于電容量。


  微型壓力傳感器的應(yīng)用:


  微型壓力傳感器可以采用相似的集成電路設(shè)計(jì)技術(shù)和制造工藝,以高精度,低成本的大規(guī)模生產(chǎn)來生產(chǎn),從而為消費(fèi)類電子產(chǎn)品和工業(yè)生產(chǎn)提供過程控制產(chǎn)品以低成本使用大量微型壓力傳感器來打開方便的門,從而使壓力控制簡(jiǎn)單,易用且智能。


  傳統(tǒng)的機(jī)械壓力傳感器基于金屬?gòu)椥泽w的力變形,從機(jī)械彈性變形到電氣轉(zhuǎn)換輸出,因此它不能像微型壓力傳感器那樣小到集成電路,而且成本也低廉,遠(yuǎn)比微型壓力傳感器高。與傳統(tǒng)的機(jī)械量傳感器相比,微型壓力傳感器具有更小的尺寸,不超過一厘米。與傳統(tǒng)的機(jī)械制造技術(shù)相比,它的性價(jià)比大大提高。


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